閥門微泄漏檢測的基本原理是:在閥門處于半開半閉狀態(tài)時向閥門內(nèi)部通以規(guī)定壓力的氦氣,用已調(diào)節(jié)好漏率的帶吸氣探針的氦質(zhì)譜檢漏儀對中腔和填料函部位進(jìn)行檢測,看該部位是否滿足用戶所規(guī)定的漏率。
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